改良西門子法（fǎ）多晶矽還原爐鍾罩自動化清洗係統

隨（suí）著信息化技術和太陽能光伏產業的迅速發展，多晶矽（guī）作為集成電路和太陽能光伏發電的基礎原材料，在國內外市場的需求量不斷增（zēng）加，簡單來說，多（duō）晶矽可以用於製備單晶矽，其深加工產（chǎn）品廣泛用於（yú）半導體工業中，作為人工智能、自動控製、信息處理、光矽轉換等（děng）器件的基礎材料。同時，由於能（néng）源危機和環境保（bǎo）護的要求，全球正積極開發利用可再生能源，大陽能光伏發電作為可（kě）再生資源之一備受（shòu）關（guān）注，突顯出（chū）著多（duō）晶矽在新能源中（zhōng）的重要性；由於多晶矽產品需求的（de）多樣（yàng）化，對多晶矽純度的要求也大（dà）不相同（tóng），目前多晶矽可以（yǐ）分為太（tài）陽能級多晶矽（光伏發電）、電子級多晶矽（半導體集成電路）、區熔（róng）級多晶矽（電子級多晶矽的更高端產品）。

改良西門（mén）子（zǐ）法被公認為是多晶矽提純可靠成熟的工藝技術，同時也已被國內外絕（jué）大（dà）多數廠商采用，多晶（jīng）矽（guī）還原爐（lú）作為改良西門（mén）子法生產多晶矽（guī）的核心設備，決定了係（xì）統產能、能耗、環（huán）保指標以（yǐ）及可靠性、安全性（xìng）的關鍵因素。還原爐在生產過程中，由於還原（yuán）爐內反應溫度較高，每（měi）一輪沉積反應後，在（zài）還原爐鍾罩內壁（bì）粘附著一些雜（zá）質，根據多晶矽生產原理及實際生產情況分析，鍾罩表麵主要汙（wū）染物為無定（dìng）形矽粉，其次為多晶矽（guī）顆粒物、氯矽烷水解物及部分粉塵雜（zá）質，這些雜質不僅（jǐn）影（yǐng）響（xiǎng）多晶矽的品質，還使鍾罩內表麵的熱量反射（shè）減少，增（zēng）加電耗（hào），因此，為保障還原（yuán）爐鍾罩表麵的潔（jié）淨度，必須對還原爐鍾罩進（jìn）行清洗及烘幹作業。
 
以往，行（háng）業內普遍采用的方法是通（tōng）過人工加化學藥劑的方式對還原爐（lú）鍾罩進行清洗（xǐ），清洗（xǐ）過程中，人工穿（chuān）戴好防護服，手持高（gāo）壓水槍噴射到（dào）內壁上（shàng）對附著物依次（cì）進（jìn）行純（chún）水清洗和清洗（xǐ）液清洗，對部分清洗不幹（gàn）淨的部位用酒精擦拭，然後用高（gāo）溫壓縮空氣進行（háng）烘幹。這種清洗方式，存在清洗效果不徹底、效率低下、浪費人力的缺陷。並且，還原（yuán）鍾罩（zhào）內會有各種有毒（dú）有害（hài）氣體溢出或殘留，給清理人員帶來（lái）健康和（hé）安全風（fēng）險（xiǎn），清洗（xǐ）時，稍有不慎化學清洗機容易濺到身上造成傷害。

為解決傳統人工（gōng）清洗方式帶來的諸多危害，德高潔自主研發並（bìng）曆經四代改進（jìn）升級還原爐鍾罩高壓水（shuǐ）自動化清洗係統，係統由低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐（guàn）器、旋轉和升降執行機構、清（qīng）洗工作台、萬級淨化幹燥係統、循環（huán）過濾係（xì）統、控製裝置、微負壓係統、清洗工（gōng）作台、電氣（qì）控製係統等組成，能夠代替人工實現還原爐鍾罩的全自動清洗和烘幹操作（zuò）。解決還原爐鍾罩清理過程中存在的效率低、清（qīng）理效果差、安全隱患等（děng）問（wèn）題，實（shí）現（xiàn）自動（dòng）化高效清理的（de）效果。

德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統是以高壓清洗機為主機，以高壓水射（shè）流為動力（lì）的自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表麵，從而完成鍾罩內部表麵的水力掃射，並（bìng）采用專用清洗劑等為主要清（qīng）洗液，先用脫鹽（yán）水預清洗再依次用溶液、脫鹽水漂洗，之後再采用高純水（shuǐ）衝洗，從而完成清洗過程，清洗工藝完成後，采用經過純淨（jìng）空（kōng）氣(萬級)烘幹加熱，達（dá）到工藝要求的幹燥度。
 
德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統自動化程度高，用PLC+觸摸屏柔性自動（dòng）控製係統，能實（shí）現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹，清（qīng）洗（xǐ）烘幹時間、溫度、清洗、漂（piāo）洗等工（gōng）藝參數可以根據需要自行調整（zhěng）設定（dìng），同（tóng）時（shí）具有半自（zì）動或手（shǒu）動功能，一次（cì）吊裝在一個工作（zuò）台上完成全部清（qīng）洗、烘幹過程，可實（shí）現遠程對樓下設備的控製（zhì）和主要參數監控。

全密（mì）閉式清洗烘幹係（xì）統，有效防止清（qīng）洗時高壓（yā）水射流噴射出鍾罩外，使汙染物(廢氣（qì）、廢水等（děng）)在受控的條件下，按設（shè）計出口排放，有效（xiào）避免人員安全隱患及環境汙染事故，係統核心部件均為原裝進口，采用歐洲標準，保證了多晶矽鍾罩清洗係統性能的可靠，可以在一套係統實現（xiàn）多種型號鍾罩（zhào）的清洗烘幹。

為（wéi）了滿足多晶矽日益（yì）激增的市場需求，保障多晶矽生產質量，多晶矽企業除了在生產能力和技術上有所提（tí）升之外，對多晶矽生產設備的潔淨度也（yě）不可忽視，如何實現多晶矽還（hái）原爐鍾罩的高（gāo）質量清洗，德高潔多晶矽還原爐（lú）鍾罩自動化係統一直“靠實力說（shuō）話”，憑借專（zhuān）業團隊、可靠硬件設備、合理工藝、自（zì）動化技術等多方麵結合，為用戶提供一套安全、環保、高效、高質量的多晶矽（guī）還原爐（lú）鍾罩自動化清洗解決方案。目（mù）前，德高潔在多晶矽還原爐（lú）清洗行業已擁有國內90%的用戶，為多晶矽行業（yè）提供（gòng）了幾十套還原爐清洗係統。