電子級多晶矽成就集（jí）成（chéng）電路發展之（zhī）路，助力“中國芯”迎來發展新（xīn）征（zhēng）程

集成電路俗稱“芯片”，是（shì）信息發展的基礎內（nèi）容，也是我國戰（zhàn）略發展的支持性產業，是現在所有電子產品(包括汽車、手機等)的核心組成部分，被廣泛應用到消費電子、汽車電子、5G網絡、計算機、數據物聯、雲計算等多個領域，它是軟件產品的重要載體，也是信息產品硬件中重要基礎之一。

電子級多晶矽用於生產半導體（tǐ）材料，主要用於電子設（shè）備，芯片上用的比較（jiào）多，作為集成電路產業（yè）發（fā）展中的主要（yào）材料，在電子信（xìn）息領域有著非常廣泛的應用，隨著我國集成電路的發展（zhǎn），電子級多（duō）晶矽的需求量在不斷（duàn）的提升，產品純（chún）度也已經達到目前人類技術水平的極限，對生產製造技術的要求極高。相對於光伏產業所用太陽能（néng）級多晶矽99.9999%純度，電子級多晶矽的純度要（yào）求高達99.999999999%，相當於5000噸的電子級多晶（jīng）矽中總的雜質（zhì）含量相當於一枚1元硬幣的重量（liàng）。

但在過去相當長一段時間內，全球（qiú）範圍（wéi）內能夠生產電子級（jí）多晶矽產品的隻是少數企業，且關鍵技術主要掌握在德國、日本和美國為首的企業手中。我國經過多年（nián）艱辛的努（nǔ）力，跨（kuà）越多種技術關卡、長（zhǎng）時間的試驗，逐漸成為全球首位多晶矽生（shēng）產地，實現（xiàn）電子級多（duō）晶矽（guī）“中國造”，集成電路用高純電子級多晶矽國產化的突破，對我國集成電路產業的發展（zhǎn）起到了至關重要的戰略意義，進一步推動（dòng）了“中國芯”的發展進程，而在電子（zǐ）級多晶矽逐漸國產化（huà）的趨勢下，電子級多晶矽生產企業（yè）需要加強對產品品質（zhì）的保障，提升工業效率、優化生產（chǎn）工藝來推（tuī）動集成電路產（chǎn）業的持續發展。
 
對純度要求如此之高的電子級多晶矽，其在對（duì）生產環境（jìng）的潔淨度要求也極為（wéi）苛刻，我國多晶矽生產工（gōng）藝中以改良西門子法（fǎ）工藝為主要技術形式，在還原爐內進行化學氣相沉（chén）積（jī），因此（cǐ），對還原爐的沉積環境潔淨度要求特別關鍵，任何顆粒性（xìng）雜質、粉塵（chén）、油脂等（děng）物（wù）質餘留在爐內，都會對產品（pǐn）質量造成影響，還原爐鍾罩汙染物易（yì）造（zào）成內表麵熱量（liàng）反射減少，使生產能耗增加；所以需要在一個運行周期後對還（hái）原爐進行清洗（xǐ）。

麵對電子級多晶矽高純度的需求，傳統（tǒng）人工清洗還原（yuán）爐（lú）鍾罩的方式，因效（xiào）率低、工作強度大、具備一定安全隱患的原因早已成為時代的眼淚，德（dé）高潔自主研發並投入使用了一款自動（dòng）化多晶矽還原爐鍾（zhōng）罩清洗係統，並經曆多次不斷升（shēng）級，已基本滿足不同多晶矽企業對（duì）還原爐的（de）清洗需求，且經過實際投入使用中證（zhèng）明，經德（dé）高潔電（diàn）子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統清洗後，多晶矽還（hái）原爐鍾罩表麵呈現“無（wú）油、無水（shuǐ）、無塵”狀態（tài），多晶（jīng）矽純（chún）度有著明顯的提升。目前德高潔已為全（quán）國90%的多（duō）晶矽行業提供多達幾十套自動（dòng）化（huà）多晶矽還原爐清洗係統。

德高（gāo）潔電子（zǐ）級多晶矽還原爐鍾罩自動化清洗係統包括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器（qì）、旋轉和升降執行機構、清洗工作台、萬級淨（jìng）化幹燥係統、循環過濾係統、控製裝置、微負壓係統、清洗工作（zuò）台、電氣控製係（xì）統等，係統實現（xiàn）了（le）鍾罩的全自動清洗和烘幹（gàn）操作。
 
以水力自（zì）驅動三維自動旋轉噴（pēn）頭（tóu），形成360°的網狀噴（pēn）射表麵，完成鍾罩內部表（biǎo）麵的水力（lì）掃射，用專用清洗劑等為主要（yào）清洗液，用純水(去離子水或（huò）叫脫鹽水)漂洗，用高純水衝（chōng）洗，完成清洗過程。其後（hòu）用經過三（sān）級（jí）淨化(10萬級)的純淨空氣，梯級加熱，保證烘幹完的鍾罩（zhào）不再結露（lù），可（kě）直接進入生產作業。

采用全密閉式清洗烘幹係統，使汙（wū）染物(廢（fèi）氣、廢水等（děng）)在受控的條件下，按設計出口排放，基（jī）本消除了對現場及（jí）操作人員（yuán）的汙染（rǎn）；係統核心部件、元件（jiàn）及附件均選用德高潔合（hé）作多年的歐美廠商，確保係統設備的可（kě）靠性；可根據使用方（fāng）不同還原爐鍾罩、車間廠房的情況，能源（yuán）條件不同，提供個性化設計（jì），以滿足不同多晶矽生產企業的清洗需求，是一套安全、高效、環（huán）保、自動化程度高（gāo）的電子級多晶矽還原（yuán）爐鍾罩清洗解決方案。
 
電（diàn）子（zǐ）級多晶矽是電子工業生產中的重要內容，企業要想持續、穩定（dìng）的生產高純電子級（jí）多晶（jīng）矽，滿足（zú）下遊企業對電子級多晶矽材料的質量需求，需（xū）要從多晶矽生產全流程（chéng）各個工序嚴格（gé）控製，將各種可（kě）能造成多晶矽質量問題因素降到最（zuì）小（xiǎo）值（zhí），這（zhè）其中避（bì）免不了對還原爐（lú）鍾罩的清洗，並在操（cāo）作過程中進一步做到精益操作和精細化操作，改變不良習慣，提升（shēng）管理水平，才有可（kě）能（néng）在電（diàn）子級多晶（jīng）矽市場上（shàng）占（zhàn）有一席之地。