悶聲幹大事！德高潔（jié）開啟電子級多（duō）晶矽還原爐鍾罩清洗（xǐ）係統新紀元！
時間：2023-03-06 17:05:00作者：LeeZhou來源（yuán）：德（dé）高潔清潔設備
電（diàn）子級多晶矽是我國發展集成電路產業的戰（zhàn）略原材料，長期以來，生產（chǎn）技（jì）術一直由國外壟斷，成為中國發展集成（chéng）電路產業（yè）的（de）瓶頸。隨著國內（nèi）企業的不斷努力，近年來國內電（diàn）子級（jí）多晶矽迎頭（tóu）趕上，擺脫國外進口依賴（lài），在質量、產量、出口等方麵取得不錯（cuò）成績，未來，中國多晶矽（guī）生產在全球市場具有良好的發展前（qián）景。
由於電子級多晶矽高純度的規格，為達到生（shēng）產要（yào）求，企業不僅在生產工藝、生（shēng）產設（shè）備上不斷升（shēng）級，為確保電子級多晶矽質量不受更多外在因素影響，對生產環境也近乎達到苛刻的要求，目前電子級多晶矽生產的主流方式是西門子改良（liáng）法，還原爐作為改良西門子法生產多晶矽的核（hé）心設備，是影響多晶矽生產和產能的關鍵因素，任何顆粒性雜質、物（wù）料等物質餘留在爐內，都會對產品質量造成影響。
在多（duō）晶矽生產過程中，多（duō）晶矽還原爐鍾罩內壁會被（bèi）高溫混（hún）合氣體燒黑，表麵沉積一定厚度的多晶矽、無定型矽、高矽氯聚物等雜物（wù），導致還原爐（lú）內表麵粗（cū）糙不平等，影響生產質量、良品（pǐn）率低、生產成本上升、生產效率下降，所以在還原爐運行一個周期結束後，必須對還原鍾罩內部進行清洗，確保電子級多晶矽在高純環境下生產。
德高（gāo）潔作為一家專業（yè）的環保（bǎo）設備供應商，早在2009年就研發出多晶矽還原爐清洗係統，並經過對客戶的實際應用和需求，充分發揮高壓水清洗和吸除（chú）塵的技術優勢，完成了電子級多晶矽還原爐鍾罩清（qīng）洗係統研發，近年（nián）來，德高潔緊跟多晶矽（guī）行（háng）業生產腳步，技術也（yě）在不斷（duàn）升（shēng）級更新，一直（zhí）保持前沿清洗技術，為多晶矽廠商提供與電子級多晶矽生產技術並駕齊驅配套清洗（xǐ）解決方案，旨為電子級多晶矽的高純度生產助力。
德高潔電子級多（duō）晶矽還原爐鍾罩清洗係統包括低壓熱水清洗動（dòng）力裝置、三（sān）維洗罐（guàn）器、旋轉和升（shēng）降執行機構、清洗工作台、萬級淨化幹燥係（xì）統、循環過濾係（xì）統、控製裝置、微負壓（yā）係統、清洗工作台、電氣控製係統等，係統核心（xīn）部件、元件和附件原裝進口，在確保係統運行穩定可靠前提下，完成（chéng）對電子級多晶矽還原爐鍾罩的全自動清洗和（hé）烘幹操作。
係統以（yǐ）高壓水射流為動力驅動三維洗罐（guàn）器，形成360°的網狀噴射（shè）表（biǎo）麵，完成鍾罩內部表麵的水力掃射，用氫氧化鈉溶液等為（wéi）主要清洗液，用純水漂洗，用高純水（shuǐ）衝洗完成清洗過程；隨後用經（jīng）過三級（jí）淨化(10萬級)的（de）純（chún）淨空氣，加熱後（hòu）（50~80℃）烘幹加熱鍾罩（zhào），再逐步降溫到常溫，通過連續幹燥，完成幹燥過（guò）程。
全密閉式清洗烘幹係統（tǒng），使汙染物（廢氣、廢水等）在受控的條件下，按設計（jì）出口排放，基（jī）本消除了對環（huán）境境汙（wū）染（rǎn）及現場操作人員的安全隱患。係統加多處安全互鎖功能（樓上、樓下（xià）操作，缺水保護，超壓保護、漏電保護，水風工作互（hù）鎖等），確保安（ān）全運行。
德高潔電（diàn）子級多晶矽鍾罩清洗係統自動化（huà）程度高（gāo），采用PLC+觸摸屏柔性自（zì）動控製係統，能實（shí）現（xiàn）對還（hái）原爐鍾（zhōng）罩的自動清洗和烘幹，清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具有半自動（dòng）或手動功能，一次吊裝在一個工作台（tái）上完成全部清洗、烘幹過程，可實現遠程對樓下設備的控製和主要參數監控。
除此之外，德高潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統可（kě）根據客戶需求（qiú），結合廠商使用（yòng）的不同鍾罩、車間廠房的情況，能源條（tiáo）件不同，提供個性化設（shè）計。目前，德高（gāo）潔在多晶（jīng）矽還原爐清洗行業已擁有國內90%的用（yòng）戶（hù），為多晶矽行業提供了幾十套還原爐清（qīng）洗係統。
德高潔成立於1994年，在環（huán）保除塵、淨化成套裝備、工業（yè）設備清潔領域已積累了近三十（shí）年的業內寶貴經（jīng）驗，期間自主研發並生（shēng）產了一係列高壓清洗（xǐ）機（120~2800bar）、自動化清洗係（xì）統、智能清洗爬壁機器人等，公司擁有20餘人研發團隊，旗下部署工藝組、技術組、質檢組，實時管控產品性能（néng）、質量，並通過ISO9001質量體係認證。長期服務於國企、軍工、外資（zī）、上（shàng）市公司等500強企業，德高潔將繼續以客戶（hù）需求為基準，用現代技術（shù）、標準（zhǔn）工藝，竭（jié）誠（chéng）為客戶服務。
由於電子級多晶矽高純度的規格，為達到生（shēng）產要（yào）求，企業不僅在生產工藝、生（shēng）產設（shè）備上不斷升（shēng）級，為確保電子級多晶矽質量不受更多外在因素影響，對生產環境也近乎達到苛刻的要求，目前電子級多晶矽生產的主流方式是西門子改良（liáng）法，還原爐作為改良西門子法生產多晶矽的核（hé）心設備，是影響多晶矽生產和產能的關鍵因素，任何顆粒性雜質、物（wù）料等物質餘留在爐內，都會對產品質量造成影響。
在多（duō）晶矽生產過程中，多（duō）晶矽還原爐鍾罩內壁會被（bèi）高溫混（hún）合氣體燒黑，表麵沉積一定厚度的多晶矽、無定型矽、高矽氯聚物等雜物（wù），導致還原爐（lú）內表麵粗（cū）糙不平等，影響生產質量、良品（pǐn）率低、生產成本上升、生產效率下降，所以在還原爐運行一個周期結束後，必須對還原鍾罩內部進行清洗，確保電子級多晶矽在高純環境下生產。
德高（gāo）潔作為一家專業（yè）的環保（bǎo）設備供應商，早在2009年就研發出多晶矽還原爐清洗係統，並經過對客戶的實際應用和需求，充分發揮高壓水清洗和吸除（chú）塵的技術優勢，完成了電子級多晶矽還原爐鍾罩清（qīng）洗係統研發，近年（nián）來，德高潔緊跟多晶矽（guī）行（háng）業生產腳步，技術也（yě）在不斷（duàn）升（shēng）級更新，一直（zhí）保持前沿清洗技術，為多晶矽廠商提供與電子級多晶矽生產技術並駕齊驅配套清洗（xǐ）解決方案，旨為電子級多晶矽的高純度生產助力。
德高潔電子級多（duō）晶矽還原爐鍾罩清洗係統包括低壓熱水清洗動（dòng）力裝置、三（sān）維洗罐（guàn）器、旋轉和升（shēng）降執行機構、清洗工作台、萬級淨化幹燥係（xì）統、循環過濾係（xì）統、控製裝置、微負壓（yā）係統、清洗工作台、電氣控製係統等，係統核心（xīn）部件、元件和附件原裝進口，在確保係統運行穩定可靠前提下，完成（chéng）對電子級多晶矽還原爐鍾罩的全自動清洗和（hé）烘幹操作。
係統以（yǐ）高壓水射流為動力驅動三維洗罐（guàn）器，形成360°的網狀噴射（shè）表（biǎo）麵，完成鍾罩內部表麵的水力掃射，用氫氧化鈉溶液等為（wéi）主要清洗液，用純水漂洗，用高純水（shuǐ）衝洗完成清洗過程；隨後用經（jīng）過三級（jí）淨化(10萬級)的（de）純（chún）淨空氣，加熱後（hòu）（50~80℃）烘幹加熱鍾罩（zhào），再逐步降溫到常溫，通過連續幹燥，完成幹燥過（guò）程。
全密閉式清洗烘幹係統（tǒng），使汙染物（廢氣、廢水等）在受控的條件下，按設計（jì）出口排放，基（jī）本消除了對環（huán）境境汙（wū）染（rǎn）及現場操作人員的安全隱患。係統加多處安全互鎖功能（樓上、樓下（xià）操作，缺水保護，超壓保護、漏電保護，水風工作互（hù）鎖等），確保安（ān）全運行。
德高潔電（diàn）子級多晶矽鍾罩清洗係統自動化（huà）程度高（gāo），采用PLC+觸摸屏柔性自（zì）動控製係統，能實（shí）現（xiàn）對還（hái）原爐鍾（zhōng）罩的自動清洗和烘幹，清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具有半自動（dòng）或手動功能，一次吊裝在一個工作台（tái）上完成全部清洗、烘幹過程，可實現遠程對樓下設備的控製和主要參數監控。
除此之外，德高潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統可（kě）根據客戶需求（qiú），結合廠商使用（yòng）的不同鍾罩、車間廠房的情況，能源條（tiáo）件不同，提供個性化設（shè）計。目前，德高（gāo）潔在多晶（jīng）矽還原爐清洗行業已擁有國內90%的用（yòng）戶（hù），為多晶矽行業提供了幾十套還原爐清（qīng）洗係統。
德高潔成立於1994年，在環（huán）保除塵、淨化成套裝備、工業（yè）設備清潔領域已積累了近三十（shí）年的業內寶貴經（jīng）驗，期間自主研發並生（shēng）產了一係列高壓清洗（xǐ）機（120~2800bar）、自動化清洗係（xì）統、智能清洗爬壁機器人等，公司擁有20餘人研發團隊，旗下部署工藝組、技術組、質檢組，實時管控產品性能（néng）、質量，並通過ISO9001質量體係認證。長期服務於國企、軍工、外資（zī）、上（shàng）市公司等500強企業，德高潔將繼續以客戶（hù）需求為基準，用現代技術（shù）、標準（zhǔn）工藝，竭（jié）誠（chéng）為客戶服務。
熱門搜索：
