德高潔：大型多晶矽還原爐鍾罩內部“去人化環保（bǎo）化”清洗設備

多晶矽是微電子行業、半導體行業、光伏行業的基礎材料，在多晶矽生產過程中，還原爐鍾罩表麵上會沉積一定厚度的多晶矽副產物、矽粉等，在下一爐（lú）生產（chǎn）時會影響還原爐鍾罩的反射效率、產品質量（liàng），所以（yǐ）多晶矽棒生（shēng）長完成並從還原爐內拆除完之（zhī）後，需要對還（hái）原爐鍾罩內壁進行清（qīng）洗烘幹，保證其（qí）內部的幹燥潔淨。

在國內多晶矽廠家生產初（chū）期，還（hái）原爐鍾罩清（qīng）洗的主要方式是人工清洗，將還原爐鍾罩放到（dào）固定位置後，清洗人員配好清洗液，穿（chuān）戴好全套的防護用（yòng）品後，用（yòng）高壓水槍噴射到（dào）內（nèi）壁上對附著物依次進行純水清洗和清洗液（yè）清洗，對部分清洗不幹淨的部位（wèi）用（yòng）酒精擦拭，再用高溫壓縮空氣進（jìn）行（háng）烘幹。

由於每一個生產周期結束後均需要（yào）對（duì）還原爐鍾罩進（jìn）行清洗，為保（bǎo）證多晶矽產品的品質，對還原（yuán）爐鍾罩內表（biǎo）麵的潔淨要（yào）求十分苛（kē）刻，而（ér）對於大型還原爐鍾罩來說，采用人工清洗（xǐ）存在清洗不幹淨、清洗的一（yī）致性也難以保證、浪（làng）費人力的（de）缺（quē）陷，且人工配堿和噴洗不安全，稍（shāo）有不慎堿液容易濺到身上造成傷害，如何減（jiǎn）少人（rén）工參與，實現更安全、環保的清洗方式成為多晶矽還原爐鍾罩內部清洗的難（nán）題。

德高潔多晶矽還原爐（lú）鍾（zhōng）罩自動化清洗（xǐ）係統，由高壓熱水清洗係統、熱風淨化烘幹係統、控製係（xì）統等組成，係統操作簡單，自（zì）動化程度高（gāo），整個清洗工藝包含：還原爐鍾罩到位→預清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高壓純水衝洗→淨化熱空（kōng）氣幹（gàn）燥→常溫幹燥→鍾罩吊走（zǒu），全程僅需人工輔助作業，解決傳統人工清洗存在不安全，不環保，清洗效果（guǒ）差，自動化（huà）程度低，效率不（bú）高的缺陷。
 
係統（tǒng）采用密閉式高壓水射流清洗係統，清洗時三維（wéi）清洗噴頭由高壓熱水（shuǐ）動力（lì）裝（zhuāng）置射出高壓（yā）水流作（zuò）為驅動動力，對鍾罩表麵形成360度網狀噴射表麵，三維旋轉噴頭（tóu）自由升降，因此可以全麵的對鍾罩進行噴射清洗，清洗時用專用清洗劑等（děng）為主要清洗液，用純水(去離子（zǐ）水或叫脫鹽水)漂洗，最後（hòu）用高純水衝洗完成清洗過（guò）程，能（néng）夠保證清洗的（de）一致性和均勻性。

全密閉式清洗烘幹方式（shì）使清洗（xǐ）安全可靠，不汙（wū）染環境，保護人身健康不受危害，清洗後（hòu）用經過三級淨化(10萬級)的純淨（jìng）空氣，梯級加熱，保證烘幹完的鍾罩不再結露（lù），可直接進入生產作業，有效提高自動化程度和生產效率。

洗滌（dí）後的含酸或堿液廢水、廢渣，排放到需方指定處，由需方自行處（chù）理，配排汙水(池、槽)溝；清洗和烘（hōng）幹產生的廢氣做室外排空排（pái）放。係（xì）統采用PLC+觸摸屏柔性（xìng）自動（dòng）控製係統，實現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹（gàn）同（tóng）時具有半自動或手動功能，可以在一套係統實現多種型號還原爐鍾罩的清洗烘幹。
 
德高潔是一家專業清潔環保設備供應商，在（zài）環保除塵、高壓清洗機、淨化成套裝備、工業設備（bèi）清潔領域已積累了近三十年的業內寶貴經驗（yàn），公司擁有20餘人研發團隊，長期服（fú）務於國企、軍工、外資、上市（shì）公司等500強企（qǐ）業，針對多晶矽還原爐鍾罩的清洗（xǐ），德高潔可根據使用方不同還原爐鍾罩、車間廠（chǎng）房的情況，能源條件不同，提供個性化設（shè）計，目前，德高潔在多（duō）晶矽還原爐清洗行業已擁有國內90%的用戶，為多晶矽行業提供了上百套（tào）還原爐清洗係統，並在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設有分公司及辦事處，服務體係網絡健（jiàn）全，零配件充足。