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自動化高壓水多晶矽還原爐鍾罩清洗係統

下載產品手冊
自動(dòng)化高壓水多晶矽還(hái)原爐鍾罩清洗係統是德高潔獨立自主研發,其工作原理是以水力自驅動(dòng)三維自動旋轉噴頭,形(xíng)成360°的網狀噴射表麵,完成鍾罩內部表麵的水力掃射(shè),用專用清洗劑等為主要清洗(xǐ)液,用純水(去離子水(shuǐ)或叫脫鹽水)漂洗,用高純水衝洗,完(wán)成清洗過程。
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產品介紹(shào)

一、係統概述
 
自動化多晶(jīng)矽還原(yuán)爐清洗係統

德高潔自動化高壓水多晶矽還(hái)原爐鍾罩(zhào)清洗係統主要用於西門子(zǐ)法多晶矽還原(yuán)爐鍾罩(爐筒)內壁的全自動清(qīng)洗和烘幹,該係統完全由(yóu)德(dé)高潔(jié)獨立自主研發而成(chéng),並注冊了實用新型專利(專利號:ZL 2011 2 0266650.2);其工作(zuò)原理是以水力自驅(qū)動三維(wéi)自動旋(xuán)轉噴頭,形成360°的網狀噴射表麵,完成鍾罩內(nèi)部表麵(miàn)的水力掃射,用專用(yòng)清洗劑(jì)等為(wéi)主要清洗液,用純水(shuǐ)(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水衝(chōng)洗,完成(chéng)清洗(xǐ)過程。其後用經過三級淨化(10萬級)的純淨空氣,梯級加熱(rè),保(bǎo)證烘幹完的鍾罩不(bú)再結露(lù),可直接進入生產(chǎn)作(zuò)業。

二、係統特點

1、技術能力強(qiáng),設計合理,根據(jù)客戶需(xū)求,總結借鑒國內外還(hái)原爐鍾罩及其它罐(guàn)類清洗烘幹經驗,充分發揮(huī)高壓水清洗和吸除塵的(de)技術優勢,設(shè)計出本套(tào)係統,實現了還原爐鍾罩的全自動清洗和烘幹操作。可根(gēn)據使用方不同還原(yuán)爐鍾罩、車(chē)間廠房的情況,能源條件(jiàn)不同,提供個性化設計(jì)。

2、設備性能可靠,核心部件、元件和附件原(yuán)裝進口。

3、自(zì)動化程度高:PLC+觸摸屏柔性自動控製係統,實現對還原爐鍾罩的自動清洗和(hé)烘幹同時具有(yǒu)半自動或(huò)手動功能(néng)。

4、適應範圍廣:可以在一套係統實現多種型號還原爐鍾罩的清洗烘幹。

5、節能、環保(bǎo)、安全:提供了預熱(餘熱蒸汽、餘熱水或油)加(jiā)熱清洗水及幹燥空氣的方案(àn)。全密閉式清洗烘幹係統,基本消除了對現場及操作人員的汙染。

6、德高潔集團在北京、上海、深圳、成都、西安、武(wǔ)漢均設有分公司(sī)及辦事處。服務體係網絡健全,零配件充足。
 
多晶矽還原(yuán)爐清(qīng)洗裝置

三(sān)、清洗工藝

還原爐鍾罩到位→預清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高純水衝洗→淨化熱空氣幹燥→常溫(wēn)幹燥→鍾罩吊走(zǒu)。

注:清洗劑的選擇對清洗效果和作業安全有直接影響,這方麵我公司積累了豐富(fù)的實(shí)踐經驗(yàn)解(jiě)決閃(shǎn)爆(bào)等問題。
 
還原爐鍾罩清洗前

四、設備組成

1、高壓熱水清洗動力裝置1套

由高壓熱水清洗機及附件(1套),高壓水自驅動三(sān)維洗罐器(1套),三維洗罐器升(shēng)降裝置(氣動,1套)組成。

2、熱風(fēng)淨化烘幹機組1套

進風淨(jìng)化等級:10萬級。

3、清(qīng)洗烘幹工作台及管(guǎn)道1套

4、電氣控製係統1套

采用PLC+觸摸屏全自動控製,全套德高潔版控製軟件。

注:水和風的(de)加熱方式:電加熱,蒸汽、餘熱水或油的熱(rè)交換器換熱。
 
還原爐(lú)鍾罩清洗後

五、施工條件

1、電源:380V/50Hz,30KW,電纜引至控製櫃。

2、蒸汽:壓力0.175-0.9Mpa(G),到指定接口點。

3、壓縮空氣:不小於流量3N m³/h,壓力0.6~0.75Mpa(G)(氣動閥(fá)、氣缸用氣),指定接口點。

4、脫鹽水:可提供(gòng)條件,不小(xiǎo)於100 L/min,到指定接口點。

5、純水:不小於(yú) 100 L/min,到指定接點。

6、清洗劑:NaOH清洗液等,不(bú)小於2立方米。

7、占地麵積:36~80平米(寬(kuān)約6~7米,長6~12米)

8、三廢處理:洗滌後的含酸或堿液廢水、廢渣,排放到需方指定處,由需方自行處(chù)理,配排汙水(池、槽)溝;清洗和烘幹產生的廢氣做室(shì)外排空排放。


技(jì)術參數
品牌:德(dé)高潔
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