多晶矽自動（dòng）化還原爐鍾罩清洗（xǐ）係統

改良西門子（zǐ）法是一（yī）種化（huà）學方法，主要由三氯氫矽與氫氣在1050℃～1150℃，一定（dìng）壓力下進行還原氣（qì）象沉（chén）積反應生產高純多晶矽，該工藝一直（zhí）是半導體行業電子（zǐ）級多（duō）晶矽生產最主要的工藝（yì）方法。其中，還原爐和氫（qīng）化爐是改良西門子法生產多晶矽的（de）核（hé）心設備，其運行好壞直接影響多晶矽質量及生產（chǎn）成本。還原爐（lú）和氫化爐為電耗較高的設備，一般企業為（wéi）降低電耗及（jí）成（chéng）本，大都釆取調整工藝參數、提供進料溫度、提（tí）高冷卻水溫、清洗鍾罩等（děng）方（fāng）法，其中鍾罩清洗對多晶矽生產非常重要，如果鍾罩清（qīng）洗（xǐ）不幹淨、光潔（jié）度不夠（gòu），常常會導致矽芯擊不穿或對（duì）產品質量汙染，因此（cǐ）擁有（yǒu）一套完善的多晶（jīng）矽（guī）還（hái）原爐清洗係統對多晶矽生產廠家顯得尤為（wéi）重要。
 
國內多晶矽（guī）鍾罩清洗方式多種多樣（yàng），有（yǒu）高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等，但大多釆用堿液（yè）中壓（yā）清洗。草莓色版APP下载在使用過程（chéng）中發現這些清洗方（fāng）式不能將鍾罩清洗幹淨，不能滿足生產需求。為此，北京德高潔清潔設（shè）備有限公司經過研發設（shè）計並製造（zào）出了多晶（jīng）矽自動化還原爐（lú）鍾（zhōng）罩清洗係統。
 
多晶（jīng）矽自動化還原爐鍾罩清洗係統是以高壓水射流為動力的自驅動三維旋轉（zhuǎn）噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表麵，從（cóng）而完成鍾罩（zhào）內部表麵（miàn）的水力掃（sǎo）射（shè），並采用專用清洗劑等為主要清洗液，先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，之後（hòu）再采用高純水衝洗，最終完成清洗（xǐ）過程。具（jù）體特點如（rú）下：
 
1、核心部件（jiàn）高壓泵（bèng）采用進口耐酸堿、耐高溫、全不鏽鋼的加壓泵，清洗作業時（shí）三維旋轉（zhuǎn）噴頭可實現自驅動旋轉、自（zì）動升降、全方位自動清洗，並可保證多晶矽的純度（dù）；

2、利用多晶矽生產廠家（jiā）的蒸（zhēng）汽餘熱（rè）將清洗介質加熱，從而改變原電加熱工藝；

3、利用多晶（jīng）矽生產廠家的廠家蒸汽餘熱，設置10萬級空氣（qì）淨化換（huàn）熱裝置代替原氮氣電加熱幹燥還原爐體工藝；

4、北京德高潔清潔設（shè）備有限公司（sī）自行（háng）研發設計的自驅動旋轉升降噴射機構可（kě）適應各規格的還原爐體；

5、由於清洗過程中會（huì）有（yǒu）氫氣和（hé）酸性物質產生，所以必須解決二次（cì）汙染（rǎn）問題。我公司（sī）自行設計的全封閉式清（qīng）洗裝置可完（wán）美解決二次（cì）汙染；

6、設（shè）計出高（gāo）壓堿液和（hé）清水的供給和分開回收裝置，並進行淨化使（shǐ）後序（xù）清洗水用（yòng）於前（qián）序的漂洗工（gōng）序（xù），充分利用了廢水資源。

實際使用證明，北京德（dé）高潔清潔設備有限公（gōng）司研發生（shēng）產的多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係統（tǒng）有效解決了生產中的實際問題，為公司節能降耗提（tí）供了有利條件，適用於在全國範圍推廣應用。