德高潔多晶矽還原爐鍾罩(zhào)清(qīng)洗係(xì)統成為首選清潔工藝

    時間(jiān):2016-04-27 14:17:06作者:LeeZhou來源:德高潔清潔設備分享到:QQ空間新浪微博騰(téng)訊微博人人(rén)網微信

    多晶(jīng)矽,是單質矽的一種形態(tài),多晶矽材(cái)料是光伏產業的基礎。在生產中,還原爐每運行一個周期,其內表麵都會殘留無定形矽(guī),同時含有氯矽烷水(shuǐ)解物及其他粉塵雜質。因此每運行一(yī)個(gè)周期需要采用清洗液(yè),並根(gēn)據殘留物分布情(qíng)況對還原爐(lú)基盤和鍾罩分(fèn)別采用特定的清理工藝進行處理。還原工藝是多晶矽生產的關鍵工藝,其工藝條件和參(cān)數控製好壞直接(jiē)影(yǐng)響產(chǎn)品質量和產量。
     
    多晶矽矽棒

    多晶矽在整(zhěng)個生產過程(chéng)中,對產品質(zhì)量的控製要求很高,對還原爐的沉積環境的潔淨度(dù)要求(qiú)特別關鍵,任何顆粒性(xìng)雜質、油脂(zhī)等(děng)物質餘留在爐(lú)內,都會對產品質(zhì)量造成影響。北京德(dé)高潔清潔設備有限公司經過研發設(shè)計(jì)並製造(zào)出了多晶矽自動化還原爐鍾(zhōng)罩清洗(xǐ)係統,可以完全將多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)洗幹淨,滿足生產需求(qiú)。

    德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗(xǐ)係統(tǒng)是以高(gāo)壓清洗(xǐ)機為主機,以高壓水射流(liú)為動力的自驅(qū)動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓(yā)水柱(zhù)噴射表麵,從而完成鍾罩(zhào)內部表麵的水力掃射,並采用專用清洗劑等為主要清洗液,先用純水(去離(lí)子(zǐ)水或叫(jiào)脫鹽水)漂洗,之後再采用高純水(shuǐ)衝洗,最終完成清洗(xǐ)過程。

    目前國內多晶矽鍾罩清洗方主(zhǔ)要有(yǒu)高壓清(qīng)洗、化學溶(róng)劑低壓清洗、機械拋光等(děng)清洗方法(fǎ),但德高潔多(duō)晶矽還原爐(lú)鍾罩清洗係統更具特點:
     
    多晶矽還原爐鍾罩清洗前後(hòu)對比

    1、核心部件(jiàn)高壓泵采用(yòng)進口耐酸(suān)堿、耐高溫(wēn)、全(quán)不鏽鋼的加壓泵,清(qīng)洗作業時三維旋轉噴頭可實現(xiàn)自驅動旋(xuán)轉(zhuǎn)、自動升降、全方位自動清洗,並可保證多晶矽的純度;

    2、利用多晶矽生產(chǎn)廠家的蒸汽餘熱將清洗介質加熱,從而改變原(yuán)電加熱工藝;

    3、利用(yòng)多(duō)晶矽生產廠家的廠(chǎng)家蒸汽餘熱,設(shè)置(zhì)10萬級空氣淨化換熱裝置代替原氮氣電加熱幹(gàn)燥還原爐體工藝;

    4、北京德高潔清潔設備有限公司自行研發設計的自驅動旋轉升降噴射機構可適應各規格的還原爐體;

    5、由於清(qīng)洗過程中(zhōng)會有氫氣和酸性物質產生,所以必須解決二次汙染(rǎn)問題。我公司自行設計(jì)的全封閉式清洗裝置可完(wán)美解(jiě)決二次汙染(rǎn);

    6、設(shè)計出高壓堿液(yè)和清水的供給和分(fèn)開回收裝置,並(bìng)進行淨化使後序清洗水用於前序的漂洗工(gōng)序,充分利用了廢水資(zī)源。

    還原爐沉積多晶矽是間歇操作,一個運行周期(qī)結(jié)束後需要(yào)打開鍾罩(zhào)收割矽棒,然後進行基盤清理,再裝矽芯(xīn)進行下一個周期的化學氣相沉積。北(běi)京德高潔清潔設備有限公司研發生產的多晶矽自動化還原(yuán)爐鍾罩清洗係統有效解決了生產中的實際問題(tí),方(fāng)便、快捷、處(chù)理效果好,目前已成為(wéi)多晶(jīng)矽還原爐鍾罩清潔的首選。

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