新型電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統

多晶（jīng）矽（guī）材料（liào）是以工（gōng）業矽為原料經一係列（liè）物理化學反應提（tí）純後達到一定純度的電子材料，其具有高純度的特點，在整個（gè）生產過（guò）程中，對產品質量的控製要求很（hěn）高。在競爭激烈（liè）市場價格越來越低的態（tài）勢下，更好的壓縮成本，也是多晶矽生產廠家關注的重點。

多晶矽生產（chǎn）多采用改良西門子法，也是用來生產半導體級多晶矽的主要工藝方法。還原爐是改良西門（mén）子法的核心（xīn）設備，多晶矽的矽棒就是在其中“生長”出來的，因此（cǐ）還原爐的沉（chén）積環境的潔淨度特別關鍵（jiàn）。


在多晶矽的生產設備（bèi）中，還原爐運行好壞直接影（yǐng）響多晶矽質量和生產成（chéng）本，一般為降（jiàng）低耗電和成本，采取調整（zhěng）工藝參數、提供進料溫度、提（tí）高冷卻水溫度（dù）、清洗鍾罩等方法。一套好的（de）鍾罩清洗裝（zhuāng）置（zhì）在多晶矽生產中是非常必要（yào）的，因為鍾罩清洗的光潔度和清潔度如果不夠，會導致矽芯擊不穿或產品質量汙染。

目前多（duō）晶矽鍾罩的清洗（xǐ）方式多種多樣，有高壓清（qīng）洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等。多晶矽還原爐清洗係統始（shǐ）於2009年（nián），德高潔清潔設備有限公司是國（guó）內第一家研發設計製（zhì）造並獲得實（shí）用新型專利的。目前其設（shè）備（bèi）應用也是覆蓋了國（guó）內（nèi）90%的多晶矽企業（yè），為多晶矽行業提供了幾十套還原爐清洗係統。

經過多（duō）年來客戶的實際（jì）應用和需求，通過總結借（jiè）鑒國內外鍾罩及（jí）其它罐（guàn）類清洗烘幹經驗，對汙染和潔淨的概念和（hé）控製有了更全麵的認識。德高潔充分發（fā）揮高壓水清洗和吸（xī）除（chú）塵的技術優勢，研發半導體級多晶矽還（hái）原爐鍾罩清洗係統，實現（xiàn）了鍾罩的全自動清洗（xǐ）和烘幹操作。

1、設備性能（néng）可靠

德高（gāo）潔電子級多晶矽鍾罩清洗係統（tǒng）性（xìng）能可靠，核心部件、元件和（hé）附件原裝進口。

2、自動化程度高

自動化程度高，用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統，能實現（xiàn）對還原爐鍾罩的自（zì）動清洗和烘幹，清洗烘幹（gàn）時間、溫度、清洗、漂洗等工藝（yì）參數可以根據需要自行調整設定，同時（shí）具有半自動（dòng）或手動（dòng）功能。

一（yī）次吊裝在一個工（gōng）作台上完成全部清洗、烘幹（gàn）過程（chéng），可實現遠程對樓下設備的控製和主（zhǔ）要參數監控。

3、安全環保

全密閉式清洗烘幹係統，使汙（wū）染物(廢氣、廢水等)在（zài）受控的條件下，按設計出口排放，基本（běn）消除了對（duì）現場及操作（zuò）人員的汙染。

德（dé）高潔（jié）多晶矽鍾罩清洗係統按防（fáng）爆要求設計，加多處安全互鎖功能(樓（lóu）上、樓下操作，缺水保護（hù），壓力（lì）水超壓保護、漏電保護，水風工作互鎖等)。

4、適應範（fàn）圍廣

可以在一套係統實現多種型（xíng）號鍾罩的（de）清洗烘（hōng）幹，現在已經使用的有四種。

升級後（hòu）的多（duō）晶矽還原爐鍾罩清洗係統可根據（jù）不同的鍾罩、不同（tóng）車間廠房不同能源條件，提供個性化設計，節省了人（rén）力物力，大大降低（dī）勞（láo）動強度（dù），這也對提高多晶矽品質產生重要意義（yì）。