多晶矽正從光伏邁向電子級 還原爐清洗不可忽視

    時(shí)間(jiān):2019-04-30 15:56:04作者:LeeZhou來源:德高潔(jié)清潔設備分享到:QQ空間新浪微(wēi)博騰訊微博人人(rén)網微信

    多晶矽,作為光伏與半導體行業的基礎命脈,其自身品(pǐn)質與(yǔ)成本狀況極大程度(dù)地(dì)決定(dìng)了行(háng)業的發展水平。集成電(diàn)路用的電子級(jí)矽材料幾乎是目前工業領域純度要(yào)求最高的產品,純度(dù)要(yào)求達到99.99999999999%,即11個9以上,而普通太(tài)陽能級多晶矽材料(liào)純度通常在5~8個9左右,國內多(duō)晶矽正(zhèng)由光伏邁向電子級。
     
    多晶矽還原車間

    國際谘詢機構IBS發布的數據顯示,從2014年起,中國集成電(diàn)路市場規模(mó)在全球占比超過50%,預計(jì)到2020年超過60%。根據《國家集成電路產業發展(zhǎn)推進綱要》明確提出的發展目標,2018年中國集成電路產業增長22.0%,產業規模達到6400億元。到2020年將全麵達到全國(guó)集成電路(lù)發展“十三五”規劃(huá)的目標,產業(yè)銷售規模達到9300億元。

    在(zài)多晶矽的生產過(guò)程中,一些物料和汙物會粘附(fù)在內壁、視孔鏡、底部法蘭上,增加反應生成過程中的能耗,增加生產成本,更加影響多晶矽的質(zhì)量,影響了多晶矽的純度。為了保證多晶矽還原爐表(biǎo)麵的潔(jié)淨度(dù),需要對還原(yuán)爐清洗和烘幹等工作。
     
    多晶矽出爐

    德高潔公司憑借多年來對自動化(huà)清洗係統設計、製造的(de)成(chéng)熟經驗和能(néng)力,早在2009年就研發出多晶矽還原爐清(qīng)洗係統,經過多年來客戶的實際應用和需求,通過總(zǒng)結借鑒國內外經驗,德高潔對汙染和潔淨的概念和控製有了更全麵的認識,充分發揮高(gāo)壓水清洗和吸除塵的(de)技術優勢(shì),進(jìn)一步研製出電子級多晶矽還原爐(lú)鍾罩(zhào)清洗(xǐ)係統。
     
    多晶矽還原鍾罩(zhào)清洗原理

    德高潔電子級多晶矽鍾罩清洗係統自動化程(chéng)度高,用PLC+觸摸屏柔性自動控製(zhì)係統,能實現對還原爐(lú)鍾罩的自動清洗和烘幹,清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂(piāo)洗等工藝參數可以根據需要自行調整設(shè)定,同時具有半自動或手動功能(néng)。一次吊(diào)裝(zhuāng)在一個工作台上完成全部清洗、烘幹過程,可實現遠程對樓下設備的控製和主要參數監(jiān)控(kòng)。

    全密(mì)閉(bì)式清洗烘幹係(xì)統,使汙染物(廢氣(qì)、廢水等)在受控的條件下(xià),按設計出口排放,基本消(xiāo)除了對現場及操作人員的汙染。核心部(bù)件、元件和(hé)附件原裝進口保證了電子級多晶矽鍾罩清洗(xǐ)係統性能的可靠,可以在一套係(xì)統實現多種型號鍾罩的清洗烘幹。目前,德高潔在多晶矽還原爐清洗(xǐ)行業已擁有國內90%的用戶,為多晶矽(guī)行業提供了幾十套還原爐清洗係統。

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